无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘净化车间的空调机组的选择：1.空调机组要根据末端需要的冷量总数得出空调机组的冷量。2.末端空调箱的选择就要根据洁净等级风量还有房间内消防热负荷风量来确定送风量。 空调机组选型步骤：A．估算或计算冷负荷估算总冷负荷，或通过有关的负荷计算法进行计算。B．估算或计算热负荷估算总热负荷，或通过有关的负荷计算法进行计算。C．初定机组型号根据总冷负荷，初次选定机组型号及台数D、确定机组型号根据总热负荷，校核初定的机组型号及台数。并确定机组型号。
无尘车间洁净厂房内各无尘车间洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求，宁波洁净车间，一般有如下规定，1、应根据空气洁净度等级的不同要求，选用不同的气流流型。 2、下列情况之者，其净化空调系统宜分开设置：（1）、运行班次或使用时间不同。（2）、生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响。（3）、对温、湿度控制要求差别大。（4）、净化空调系统与一般空调系统。
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