净化车间/无尘车间的主要能耗:
①为维持无尘车间所要求的温度和相对湿度，要对无尘车间的送风进行必要的热、湿处理（冷却、去湿、加热、加湿），就必须向空调净化系统供冷供热，供蒸汽就要消耗大量的能量。
②为了保证无尘车间的洁净度，温度、湿度等参数，必须往无尘车间送入大量的空气，送风的风机和供水的水泵等动力设备也要消耗可观的能量。
③根据前面所说的供冷、供热、供蒸汽消耗的能量以及送风、送水设备消耗的电量随洁净级别越高，能量消耗越大。
④无尘车间的冷负荷中的主要负荷是新风冷负荷，消除工艺设备和工艺过程产热的冷负荷和抵消风机和水泵发热的冷负荷，这三项负荷占总冷负荷的90%以上；而围护结构、照明和作业人员三项冷负荷不足总冷负荷的10%。
无尘车间系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超过滤网或过滤后。
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