无尘室内该如何防止微粒子污染呢?
无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
1.不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有:
1)作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
4)机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2.不发生 在控制污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到极小限度应采取以下对策:
1)减少接触剥离发尘的动作形态;
2)采用磨耗发尘小的材质;
3)采用发尘小的润滑油;
4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
3.不储备 若能彻底实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
4.洁要求
(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)、用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;
(3)、使用已获批准的洁净室专用去污剂;
(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。
(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。
(6)、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
(7)、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
(8)、所有的门都需要检查并擦干
(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)、工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,无菌室设计,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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